| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
Xeryon多軸壓電納米平移臺(tái)可搭配線性、垂直、旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)臺(tái)，具備大行程（10-150mm）,高分辨,高速的特點(diǎn)。
分辨率高達(dá)5nm（線性），3µrad（旋轉(zhuǎn)）
速度高達(dá)1000mm/s（線性）720°/s（旋轉(zhuǎn)）
多軸壓電納米平移臺(tái)是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，可提供不同行程的精確定位，視頻以XY軸位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)為例。
多軸壓電納米位移臺(tái)主要特點(diǎn)：
·緊湊：
每段質(zhì)量小于40g
·精確:
分辨率高達(dá)5 nm（線性）和3µrad（旋轉(zhuǎn)）
·快速:
高達(dá)1000mm /s（線性）和720°/s（旋轉(zhuǎn)）
·耐用:
>壽命1000公里（直線），>壽命1000萬(wàn)轉(zhuǎn)（旋轉(zhuǎn)）
多軸壓電納米平臺(tái)可以提供XY軸,XYZ三軸，X旋轉(zhuǎn)，XY旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)。圖為5軸位移臺(tái)。
控制器和軟件：
兼容XD-C（單軸）和XD-M（多軸）控制器。兼容運(yùn)動(dòng)控制器，如：
Beckhoff, Omron, Festo， ACS， Elmo等等。
易于使用的Windows界面或LabVIEW驅(qū)動(dòng)程序。
多種庫(kù)，如c++， Python和MATLAB可用。
真空兼容性：
Xeryon有高真空（HV, 10- 6mbar）和超高真空（UHV, 10- 9mbar）兩種型號(hào)。
我們提供幾種真空饋通法蘭，包括D-Sub 15針（標(biāo)準(zhǔn)），F(xiàn)ischer 12針和Lemo 12針。
多軸壓電納米位移臺(tái)主要應(yīng)用：
·光電子學(xué)
·半導(dǎo)體生產(chǎn)
·醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
·生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
·顯微鏡和計(jì)量學(xué)
·掃描電子顯微鏡
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